一、萌芽期(1980–1999):半导体基因奠基 + 机器人初步进入
1988 年:ASEA 与 BBC 合并为 ABB 集团,自带功率半导体制造基因(前身 BBC 从 1950 年代即研发硅基功率器件)。
1980–1990 年代初:ABB 机器人(IRB 6/10/20 系列)开始进入电子 / 半导体周边,做简单的电路板搬运、测试上下料、包装,无专门洁净室机型,仅满足一般工业环境。
1990 年代中后期:随着300mm 晶圆兴起、静电与微粒污染问题凸显,ABB 开始研发洁净室 + ESD 防静电机型,重点用于晶圆片盒(FOUP)搬运、简单移载,精度约 ±0.05mm,处于 “能用但不算顶尖” 阶段。
二、探索成长期(2000–2014):专用机型定型 + 前后道规模化落地
2000 年后:半导体行业进入12 寸晶圆、纳米制程时代,对 ** 洁净度(ISO 1–4)、低振动、超高精度(±0.01mm 级)** 要求陡增。
2004–2010 年:
推出IRB 1200(7–9kg)洁净室版:±0.01mm、ISO Class 4、ESD 防护,成为半导体晶圆搬运、FOSB 拆包、小型封装上下料主力机型。
推出IRB 4600(40–60kg)洁净室版:用于FOSB 重负载搬运、跨区晶圆传输、300mm 片盒转运,振动控制<0.35G,大幅降低碎片率。
2010–2014 年:
ABB 瑞士伦茨堡功率半导体工厂(BiMOS)启动自动化改造,机器人正式进入后道封装(固晶、键合、塑封、测试)。
形成 **“IRB 1200 + IRB 4600” 经典组合 **,在 ** 晶圆厂(Fab)、封测厂(OSAT)** 批量复制,全球装机量快速破千。
三、高速扩张期(2015–2019):协作机器人入场 + 先进封装突破
2015 年:发布YuMi(IRB 14000)双臂协作机器人,ISO Class 5、±0.02mm、无需安全围栏,直接切入微型芯片(QFN/DFN/BGA)精密装配、键合辅助、点胶、检测分拣等狭小工位,开启人机协作封装时代。
2016–2019 年:
Genesis 项目(瑞士伦茨堡):投入20 台 ABB 机器人(含 YuMi),实现IGBT/MOSFET 功率半导体后道全流程无人化,成为全球功率半导体自动化标杆。
推出IRB 910INV(SCARA)洁净室版:吊顶安装、ISO 1、高速拾放,适配 **WLP(晶圆级封装)、Flip Chip(倒装芯片)** 等超薄 / 超小元件高速搬运。
应用从晶圆搬运、传统封装,扩展到2.5D/3D 封装、微凸点键合、TSV 通孔、超薄晶圆(<50μm)Handling等先进制程。
四、全链智能化期(2020–2025):全系列洁净化 + AI / 数字孪生深度融合
2020–2022 年:
GoFa CRB 15000 协作机器人:±0.01mm、ISO Class 4、力控 ±0.5N,主攻先进封装精密贴装、底部填充、微焊点检测。
IRB 1100 Lite+:超小型、低成本洁净机型,普及芯片分拣、测试上下料、小型模组组装,降低中小封测厂自动化门槛。
2023–2025 年:
OmniCore™控制器 + AI:实现视觉引导自动对位、工艺参数自适应、故障预判、数字孪生仿真,适配5nm/3nm先进制程的超高一致性、零缺陷要求。
中国市场爆发:上海超级工厂量产新一代 IRB 1200、Lite+、PoWa 协作,深度服务长三角 / 珠三角封测集群,国产替代加速。
五、2026 年至今:全链路覆盖 + 行业标杆确立
已形成从轻载(IRB 1100/1200/YuMi/GoFa)→中载(IRB 4600)→SCARA(IRB 910INV)→协作 + 传统全系列洁净室机器人,覆盖 ** 半导体前道(晶圆厂)、后道(封测)、设备制造(光刻机 / 检测设备组装)** 全链条。
核心价值:洁净(ISO 1–5)、精密(±0.01mm)、低振动(<0.35G)、防静电、柔性、24h 无人化,成为全球半导体智能制造首选机器人品牌之一。
关键里程碑一览
表格
| 时间 | 里程碑 | 意义 |
|---|---|---|
| 1988 | ABB 集团成立,自带功率半导体基因 | 奠定行业基础 |
| 1990s | 首批洁净室 ESD 机器人试水晶圆搬运 | 进入半导体周边 |
| 2004–2010 | IRB 1200/4600 洁净版定型 | 前后道规模化落地 |
| 2015 | YuMi 协作机器人发布 | 微型芯片精密装配革命 |
| 2016–2019 | Genesis 项目 20 台机器人整线自动化 | 功率半导体标杆 |
| 2020–2022 | GoFa/IRB 1100 Lite + 推出 | 先进封装 + 低成本普及 |
| 2023–2025 | OmniCore AI + 中国量产 | 3nm/5nm 制程适配 + 国产替代 |


